2019年8月19日号〔No.671〕

【短波長・短パルスレーザ特集】高出力化・スループットピコ･フェムト秒レーザの適用が拡大！

　短波長レーザ及び短パルスレーザは、産業分野において様々な微細加工に適用されており、それぞれの加工特性によって使い分けられているが、近年の傾向としては、かつて短波長レーザが適用されていた加工分野において、ピコ・フェムト秒レーザに置き換わるケースが増えている。
　以下、短波長・短パルスレーザのアプリケーションについてレポートする。
［短波長］
　短波長レーザとしては、固体レーザ基本波＝1064nmの２倍波＝532nm（SHG・グリーン）、３倍波＝355nm（THG・UV）、４倍波＝266nm（FHG・DUV）などが産業分野で使われている。
　２倍波＝532nmのアプリケーションとしてはウエハマーキング、液晶ガラスパネルインナーマーキング、トリミング、セラミックスの微細穴あけ等が挙げられる。さらに銅溶接や銅線のろう付・ハンダ付等への適用も増加している。
　ＵＶレーザのアプリケーションとしては、サファイア基板スクライビング、シリコンウエハスクライビングなどが挙げられる。（本文より）

・ＵＶフェムト秒レーザをはじめ産業・理化学向け新製品が多数登場！／コヒレント・ジャパン

・高出力フェムト・ピコ秒レーザ各種をラインアップ！／スペクトラ・フィジックス

・高スペック・高信頼性・低価格のピコ・フェムト秒パルスレーザ各種をラインアップ！／カンタム・ウシカタ

・短パルスレーザ微細加工装置ピコ・フェムト秒レーザエキシマレーザ発振器ラインアップ！／ビーム

・オールファイバーベース波長515／1030／1950nmのフェムト秒レーザ好評！／AkiTech LEO

【レーザ業界ニュース】

・2019年上半期（'19年１月〜６月）レーザ関連特許出願公開状況集計、特許出願公開総件数は292件で前年同期比15.4％増　同件数順位は、1位ディスコ　　2位アマダホールディングス　3位ファナック　　4位住友電気工業、島津製作所

【『第24回北京エッセン溶接・切断フェア』会場インタビューレーザ加工機器有力企業の現状と展望を聞く!】

・コヒレント北京
・ハンズレーザー
・レイカス

【レーザ関連“特許出願公開速報”】2019年4月25日〜5月16日（公開分）